国产商业电子束光刻机“羲之”在杭州城西科创大走廊投入应用测试
位于杭州城西科创大走廊的浙江大学成果转化基地近日传来喜讯，全国首台国产商业电子束光刻机“羲之”已进入应用测试阶段，其精度与国际主流设备相媲美，这标志着量子芯片研发领域中国拥有了自主的“刻刀”。
在测试现场，浙大余杭量子研究院的团队正在忙碌地进行应用测试，电子显示屏上实时更新着参数。这台自主研发的新一代100kV电子束光刻机“羲之”已正式投入市场。
“羲之”得名于书法家王羲之，其“毛笔”为电子束，在芯片上刻写电路。这台设备专注于量子芯片和新型半导体研发的核心环节，通过高能电子束在硅基上“手写”电路，精度达到0.6nm，线宽8nm，无需掩膜版即可灵活修改设计，特别适合芯片研发初期的反复调试。
此前，此类设备受国际出口管制，中国科学技术大学、之江实验室等国内顶尖科研机构长期无法采购。“羲之”的落地有望打破这一困局，其定价低于国际均价，目前已与多家企业及科研机构展开接洽。
“羲之”的成功并非孤例，其背后是科技创新与产业创新“两新融合”的强力驱动。今年7月，省级教育科技人才一体改革专项试点项目落地位于余杭区的浙江大学校友企业总部经济园，浙江大学与该园联手搭建了成果转化高速路：园区企业开出“技术需求清单”；浙大教授带研究生组队“揭榜”；从实验室样品到量产产品，全流程陪跑。
在城西科创大走廊，这样的融合正成为常态。院士工作站落地城投未来之星办公楼，无缝对接企业需求；城西科创大走廊连年推出优秀概念验证项目征集，打通成果转化的“最前一公里”。接下去，城西科创大走廊将持续推动“两新融合”，为硬科技突破加速赋能，推动科技成果高效转化为现实生产力。
